CDM inteqrasiya olunmuş qalınlıq və ərazi sıxlığı ölçən cihazı

Tətbiqlər

Kaplama prosesi: elektrodun kiçik xüsusiyyətlərinin onlayn aşkarlanması; elektrodun ümumi kiçik xüsusiyyətləri: bayram aclığı (cari kollektorun sızması yoxdur, normal örtük sahəsi ilə kiçik boz fərq, CCD identifikasiyasının uğursuzluğu), cızıq, inceltmə sahəsinin qalınlıq konturu, AT9 qalınlığının aşkarlanması və s.

Bizə e-poçt göndərin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Ölçmə prinsipləri

Səthin sıxlığının ölçülməsi prinsipləri

X/β-şüalarının udulması üsulu

Qalınlığın ölçülməsi prinsipləri

Korrelyasiya və lazer trianqulyasiya

CDM texniki sınaq xüsusiyyətləri

Ssenari 1: Elektrod səthində 2 mm enində bayram/çatışmazlıq var və bir kənar daha qalındır (aşağıda göstərildiyi kimi mavi xətt). Şüa nöqtəsi 40 mm olduqda, ölçülmüş orijinal məlumat formasının təsiri (aşağıda göstərildiyi kimi narıncı xətt) açıq şəkildə daha kiçik görünür.

Ssenari 2: dinamik incəlmə sahəsinin profil məlumatları 0,1 mm məlumat eni

Proqram təminatı xüsusiyyətləri

Texniki parametrlər

ad	İndekslər
Skanlama sürəti	0-18m/dəq
Nümunə alma tezliyi	Səthin sıxlığı: 200 kHz; qalınlıq: 50 kHz
Səthin sıxlığının ölçülməsi diapazonu	Səthin sıxlığı: 10~1000 g/m²; qalınlıq: 0~3000 μm;
Ölçmənin təkrarlanması dəqiqlik	Səth sıxlığı: 16s inteqral: ±2σ: ≤±həqiqi dəyər * 0,2‰ və ya ±0,06q/m²; ±3σ:≤±əsl dəyər * 0,25‰ və ya +0,08q/m²; 4s inteqral: ±2σ: ≤±həqiqi dəyər * 0,4‰ və ya ±0,12q/m²; ±3σ: ≤±əsl dəyər * 0,6‰ və ya ±0,18q/m²;Qalınlıq: 10 mm zona:±3σ: ≤±0,3μm; 1 mm zona: ±3σ: ≤±0,5μm; 0,1 mm zona: ±3σ: ≤±0,8μm;
Korrelyasiya R2	Səthin sıxlığı >99%; qalınlığı >98%;
Lazer ləkəsi	25*1400μm
Radiasiyadan qorunma sinfi	GB 18871-2002 milli təhlükəsizlik standartı (radiasiya istisnası)
Radioaktivin xidmət müddəti mənbə	β-şüaları: 10,7 il (Kr85 yarı ömrü); X-ray: > 5 il
Ölçmənin cavab müddəti	Səthin sıxlığı < 1ms; qalınlıq < 0,1 ms;
Ümumi güc	<3 kVt